電子工業無塵車間工程

電子工業無塵車間工程

   以芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤製造車間為代表的電子工業工程潔淨室(區)除了對微粒的嚴格控製外,還對溫濕度的控製、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴格,消除靜電對生產產品的影響,從而使環境達到電子產品在潔淨環境的生產工藝要求。

   潔淨室(區)的溫、濕度應根據生產工藝要求確定當生產工藝無具體要求時,其溫度可按20~26℃,相對濕度30%~70%采用。人員淨化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據與國際ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073,這類潔淨室(區)的潔淨度等級1~9級,其中1~5級,氣流流型為單向流或混合流,風速0.2~0.45m/s;6級氣流流型為非單向流,換氣次數50~60次/h;7級氣流流型為非單向流,換氣次數15~25次/h;8~9級氣流流型為非單向流,換氣次數10~15次/h。

根據現行規範,電子製造廠萬級潔淨室內的噪聲級(空態):不應大於65dB(A)

1.電子製造廠潔淨室垂直流潔淨室滿布比不應小於60%,水平單向流潔淨室不應小於40%,否則就是局部單向流了。

2.電子製造廠潔淨室與室外的靜壓差不應小於10Pa,不同空氣潔淨度的潔淨區與非潔淨區之間的靜壓差不應小於5Pa。

3.電子製造行業萬級潔淨室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:

4.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

5.保證供給潔淨室內每人每小時的新鮮空氣量不小於40㎡。

無塵室的送風量,應取下麵三項最大值:

●保證電子製造廠無塵室空氣潔淨度等級的送風量。

●根據熱,濕負荷計算確定電子廠潔淨室的送風量。

●向電子製造廠潔淨室內供給的新鮮空氣量。

這類潔淨室(區)有電氣、電子生產潔淨室、電子計算機潔淨室、半導體工業潔淨室等等。涉及淨化通風空調工程、公用動力係統、電氣工程、照明、電信、消防工程、動力設備安裝工程、彩鋼板圍護工程等。


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