為了統一潔淨室的空氣潔淨度等級、各類技術要求，世界各國都陸續製定了各自的潔淨室標準，著名的美國之音FS209標準便是從1963年開始製定發布實施的。
潔淨工程裝修標準
由全球國際標準化組織ISO/TC209潔淨室及相關受控環境技術委員會編製的“潔淨室及相關受控環境”標準係列，已先後發布了ISO14644-1至ISO14644-8與ISO14698-1、ISO14698-2;我國的全國潔淨室及相關受控環境標準化技術委員會等同采用上述國際標準，並以GB/T25915.1~GB/T25915.8與GB/T25916.1~GB25916.2發布實施，其名稱和編號如下：
1.GB/T 25915.1-2010/ISO14644-1:1999 第1部分：空氣潔淨度等級
2.GB/T 25915.2-2010/ISO14644-2:2000 第2部分：證明持續符合ISO14644-1的檢測和監測技術條件
3.GB/T 25915.3-2010/ISO14644-3:2005 第3部分：檢測方法
4.GB/T 25915.4-2010/ISO14644-4:2001 第4部分：設計、建造、啟動
5.GB/T 25915.5-2010/ISO14644-5:2004 第5部分：運行
6.GB/T 25915.6-2010/ISO14644-6:2007第6部分：詞匯
7.GB/T 25915.7-2010/ISO14644-7:2004 第7部分：隔離裝置
8.GB/T 25915.8-2010/ISO14644-8:2006 第8部分：空氣分子汙染分級
潔淨工程裝修規範
1.GB50073 潔淨廠房設計規範
2.GB50457 醫藥工業潔淨廠房設計規範
3.GB50472電子工業潔淨廠房設計規範
4.GB50591 潔淨室施工及驗收規範
5.GB50333醫院手術部建築技術規範
6.GB50346生物安全實驗室建築技術規範
